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当时方位:成都汉普升科技有限公司磁控溅射堆积成都真空设备厂家 Research桌面真空镀膜机
1. 主体:全封闭框架结构,真空室为前开门方法,机柜和主机为一体式组织。选用优质0Cr18Ni9不锈钢资料(SUS304),箱体尺度为不小于φ350X400mm。设置DN100调查窗口,坐落真空腔体门正前方,骨架默许白色(或铝合金本性),门板为白色,四只脚轮,可固定,可移动。室体、真空机组、磁控靶等有断水报警确定安全保护装置,能防备停水后呈现安全隐患。
2.2真空装备:高速直联旋片泵一台,抽速大于6L/S,超高分子泵一台,抽速600L/s。
2.3真空丈量:两路电阻规,一路电离规;对真空室和真空管道别离精确监控,带数据通讯。
3. 工件架体系:单工位4英寸工件盘,工件盘可加热至500摄氏度,工件架真空室底部装置,便于替换基片,转速3~30rpm。
5. 磁控溅射体系:装备2-3个50mm磁控靶,装置于真空室顶部,向下溅射成膜。
8.电气操控办理体系:选用功用化模块规划方法,匹配西门子操控单元和MCGS人机界面,完成真空体系的自动操控,根本作业单元的操控,安全报警及毛病信息数据显现,并经过文字方法提示,软件的功用和模块可以精确的经过实践的需求进行单列或兼并,但不得削减功用。
温馨提示:为躲避购买危险,主张您在买产品前必须承认供货商资质及产品质量。
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2024-March-16
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