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当前位置:成都汉普升科技有限公司磁控溅射沉积成都真空设备厂家 surpass电磁耦合磁控溅射
●该设备为公司依据客户工艺需求定制,与某研究所国家重点实验室联合研制,先后获得奖励3项,用于固体润滑、防腐和超硬表面改性等领域,服务于科研和国家重大项目需求,具有多功能、高稳定的特点,欢迎各位联合研制。
●设备主要由真空腔体、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成,同时匹配空气压缩气体气源和水冷系统,可按照每个客户使用需求定制。
●磁控靶组件:4个矩形靶,4个圆柱靶,按照每个客户实际需要匹配中频、射频、脉冲直流溅射电源;
●工件盘:导轨多工位行星工件盘2套(标准配置为12工位和24工位,可扩展数百件工件共同沉积),工件盘装夹移动小车一辆;
●特别说明:该设备为公司与中科院某所合作研制,获得国家科学技术进步、国家科技发明奖、机械工业科学技术进步一等奖和中科院重大设备专项等奖励,企业来提供一揽子技术解决方案,同时与合作伙伴共享知识产权。
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2024-March-16
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