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是一种典型的多功能极限资料,在电学、光学、热学、力学声学和电化学方面具有优异才能功能,在很多高新技能范畴具有宽广的使用远景。20世纪80年代之后,”。90年代后,跟着金刚石涂层工业化制备技能的呈现,金刚石涂层工业开萌发。金刚石涂层东西、金刚石热沉、金刚石光学窗口、金刚石膜基勘探器及传感器和金刚石电极等一系列高技能附加值产品开端步入商场,极大地推动了精细加工、生物医学、电化学、传感与勘探与半导体等范畴的工业晋级。
21世纪初我国渐渐的呈现CVD金刚石工业,现在首要包括硬质合金基金刚石涂层东西和模具,东西级、热沉级和光学级金刚石自支撑膜,并呈现出杰出的发展势头。而且,我国的金刚石涂层研讨一向遭到国家有高度重视。国家“863”方案和国家自然科学基金均继续赞助过相关研讨项目。在“八五”、“九五”、“十一五”期间均环绕金刚石涂层方面建立严重要害技能项目和要害资料专项,取得了严重成果。
鹏城半导体技能(深圳)有限公司(简称:鹏城半导体)研制规划制作了热丝CVD金刚石设备,分为试验型设备和出产型设备两类。
设备大多数都用在微米晶和纳米晶金刚石薄膜的研制和出产。可用于力学等级、热学等级、光学等级、声学等级的金刚石产品的研制出产。
能够制作大尺度金刚石多晶晶圆片,用于大功率器材、高频器材及大功率激光器的散热热沉。
可用于平面工件的金刚石薄膜制备,也可用于刀具外表或其它不规则外表的金刚石硬质涂层制备。
矩形作业尺度的宽度600mm/长度可依据镀膜室的长度确认(如:工件长度1200mm)。
可达300KW,1KW ~300KW可调(可依照每个用户工艺需求装备功率规模)
双层水冷结构,立式圆形、立式D形、立式矩形、卧式矩形,前后开门,真空尺度,依据工件尺度和数量确认。
可水冷、可加偏压、可旋转、可升降 ,由调速电机操控,可完成主动升降,(热丝与衬底距离在5 ~ 100mm规模内可调),要求升降平稳,上下动摇不大于0.1mm。
2024-March-16
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