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日常日子中,不少人会经过贴膜来维护手机,这是一项技能活,稍有不小心就会在屏幕上发生丑陋的气泡。其实,芯片出产也有贴膜的环节,给晶圆贴光刻膜,难度更大。广东东莞一家专精特新企业经过自主研制晶圆真空贴膜设备,成了芯片制作范畴的“贴膜大师”。
总台央视记者 满禹廷:技能人员表明,他们的设备大多数都用在给晶圆贴光刻膜,而光刻膜对自然光很灵敏,所以要在黄光下进行作业。
在芯片的出产的悉数过程中,有一项工艺是将光刻膜贴在晶圆上,然后经过激光照耀让光刻膜发生物理及化学特性的改变,从而在表面上得到所需的图画,再经过后续工艺构成芯片电路。假如光刻膜和晶圆之间呈现褶皱或许气泡,整张光刻膜就会作废。
广东思沃先进配备有限公司副总经理 肖基堂:真空腔体是这台设备的核心部件,它能够在30秒内使线帕以内,把腔体内的空气赶出来,避免气泡的发生。
除了能发明挨近真空的贴膜环境,对贴膜的对位精度以及压力的精准操控也是这台设备的核心技能。
广东思沃先进配备有限公司副总经理 肖基堂:咱们选用高清图画识别技能完成1微米至2微米的线路制作。晶圆越做越薄,相对来说仍是比较软弱,在出产的悉数过程中咱们要注意压力的精准操控以避免裂片的发生。
据了解,现在该设备的产速为每小时60片到75片左右,比较职业中等水准有约15%的功率提高。
本期专精特新·绝活:贴膜贴出新高度,自研设备制作真空环境,让气泡和褶皱不再成为晶圆贴膜的职业痛点,做芯片制作范畴的“贴膜大师”。
2024-March-16
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