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超声波雾化喷涂体系用于集成到真空室中。经过试验证明,共同的超声波雾化喷涂体系规划可集成到真空关闭平台上,适用于聚合物气相堆积(PVD)和金属有机化学气相堆积(MOCVD)等使用。超声波雾化喷涂体系发生的特征性低速雾化可发生具有严密液滴散布和根据频率受控液滴尺度的蒸气云。因为超声波雾化喷头经过将高频声波转换为机械振动来作业,因而触摸喷头外表的液体在不增加空气或气体的情况下被雾化,因而在喷涂过程中真空室的完整性不会被削弱。
集成到超声波雾化喷涂体系中的超声波发生器技能供给雾化所需的电能,并装备先进的负载均衡功用,可主动调整以习惯不一样的真空条件,从而在真空堆积过程中坚持最安稳的喷涂特性。
超声波雾化喷涂体系适用于高温真空环境,并具有冷却才能和温度监控功用,以保证恰当的热维护。
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2024-March-16
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