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真空使用设备品种十分之多,但不管何种真空使用设备都有一套扫除被抽容器内气体的抽气体系,以便在真空容器内取得所需求的真空条件。举例来说:一个真空处理用的容器,用管道和阀门将它与真空泵衔接起来,当真空泵对容器进行抽暇时,容器上要有真空丈量设备,这就构成了一个最简略的真空抽气体系(如图A)。
图A所示的简略的真空体系只能在被抽容器内取得低真空范围内的真空度,当需求取得高真空范围内的真空度时,一般在图A所示的真空体系中串联一个高真空泵。当串联一个高真空泵之后,一般要在高真空泵的进口和出口别离加上阀门,以便高真空泵能独自坚持真空。假如所串联的高真空泵是一个油分散泵,为防止很多的油蒸气返流进入被抽容器,一般在油分散泵的进口加一个捕集器——水冷挡板(如图B所示)。依据要求,还能够在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软衔接管道、真空泵进口放气阀等等,这样就构成了一个较完善的高真空体系。
但凡由两个以上真空泵串联组成的真空体系,一般都把抽低真空的泵叫做它上一级高真空泵的前级泵(或称前置泵),而最高一级的真空泵叫做该真空体系的主泵,即它是最主要的泵,被抽容器中的极限真空度和作业真空度就由主泵确认。被抽容器出口到主泵进口之间的管路称为高真空管路,主泵进口处的阀门称为主阀。
一般前级泵又兼作予真空抽气泵。被抽容器到予抽泵之间的管路称为予真空管路,该管路上的阀门称为予真空管道阀。主泵出口到前级泵进口之间的管路称为前级管道,该管路上的阀门称为前级管道阀,而软衔接管道是为了阻隔前级泵的振荡而设置的。
真空体系模块规划的基本内容:是依据被抽容器对真空度的要求,挑选恰当的真空体系模块规划方案,进行选、配泵核算;确认导管、阀门、捕集器、真空丈量元件等,做到合理装备,最终划出真空体系装配图和零部件图。
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2024-March-16
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