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2023年12月2日音讯,据国家知识产权局公告,沈阳芯源微电子设备股份有限公司获得一项名为“一种真空抽液与气液别离设备”,授权公告号CN220110606U,请求日期为2023年6月。
专利摘要显现,本实用新型归于半导体晶圆加工工艺范畴,特别是湿法工艺范畴的一种真空抽液与气液别离设备,包含真空产生器及气液别离桶;真空产生器具有压缩空气气源衔接端、流体抽取端及流体输出端,气液别离桶的顶部开设有排气口、底部开设有排液口,真空产生器的流体输出端与气液别离桶相连通,真空产生器的流体抽取端与设备排废液管道连通,真空产生器的压缩空气气源衔接端与外接压缩空气气源连通。本实用新型选用将压缩空气通入真空产生器内,由真空产生器产生负压抽取设备排废液管道内的液体,再输入至气液别离桶内,完成气体与液体的别离排放,可以有很大成效防止设备排废液管道排出废液时产生阻塞的问题。
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已有537家主力组织发表2023-06-30报告期持股数据,持仓量总计9497.78万股,占流转A股69.10%
近期的均匀本钱为151.93元。该股资金方面呈流出状况,出资者请慎重出资。该公司运营状况良好,大都组织觉得该股长期出资价值较高。
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