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当时方位:成都汉普升科技有限公司磁控溅射堆积成都真空厂家 surpass复合磁控溅射镀膜机
●设备主要由真空腔体、真空体系、工件盘体系、烘烤体系、溅射体系、过渡仓、磁力机械手、离子轰击体系、充气体系和在线丈量体系组成,一起匹配空气压缩气体气源和水冷体系,可依照每个客户运用需求定制。
●磁控靶组件:4个矩形靶,3个圆形靶,依照每个客户实践要匹配中频、射频、脉冲直流溅射电源;
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2024-March-16
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