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分散往后的下一个工序是刻蚀,因为分散选用背靠背分散,硅片的边际没有遮挡也被分散上磷(边际导通状况),太阳能电池PN结的正面所搜集到的光生电子会沿着边际分散有磷的区域流到PN结的反面,而构成短路,太阳能电池片会因而失效。一起此短路通道等效于下降并联电阻。别的因为在分散过程中氧的通入,硅片外表会构成一层二氧化硅,在分散炉高温的作用下POCl3与O2构成的P2O5,部分P原子进入Si替代部分晶格上的Si原子构成n型半导体,部分则留在了SiO2中构成PSG(磷硅玻璃)。
2、死层增加了发射区电子的复合,致使少子寿数的下降,从而下降了Voc和Isc;
刻蚀槽HNO3和HF的混合液体会对分散后硅片的下外表及边际进行腐蚀,以去除边际的N型硅,打破硅片外表短路通路。因而刻蚀关于液位高度的操控需求特别准确。反响方程式:
当电池片从HF槽出来后,可调查其外表脱水状况,假如脱水作用杰出,则代表磷硅玻璃已去除较洁净;假如外表水珠较多,则代表磷硅玻璃未被去除洁净,可增加适量HF到HF槽中。
当电池片经过刻蚀机台出来时,首要检查硅片外表,绒面是否显着斑迹,是否有药液残留。该工序一般要求面腐蚀深度操控在0.8~1.6m范围内,一起硅片外表刻蚀宽度不超越2mm, 刻蚀边际绝缘电阻大于1K欧姆。
关于刻蚀程度能够经过刻重来衡量刻蚀前分量减去刻蚀后分量。关于刻重的要求,不同公司有不同的要求,一般远小于制绒减薄量。
疏水性测验,刻蚀后电池片需求=守时抽检电池片疏水性,疏水性可反映分散的好坏。
反常处理,刻蚀车间和制绒车间极端类似,机台叠片、碎片、吹不干、残留和色斑等常见问题等都极为类似,机台的保护、抽风、流量等引起的工艺问题类型也多类似。
1、纯水电导率检测、出产所用均为纯水,纯度不高将直接导致电池片严峻的质量问题;
2、空气温度和洁净度,电池片是就像襁褓中的婴儿,任何风吹草动都会引起相当大的结果;
4、返工分类,大过刻、小过刻等返工工艺不同,需求对返工进行区别,送至制绒车间。
刻蚀车间的机器和制绒车间几乎是相同的,相同的RENA机器进行略微的改动就能够使用在不要的工序,相同制绒车间面对的问题刻蚀车间也相同存在,保护繁琐,有安全隐患等(详细可拜见太阳能电池片科普系列制绒篇)。刻蚀也归于湿制程,对药液寿数 、药液成分份额、外围都相同较为灵敏,问题出现都是批量性的,问题处理上只能靠经历和数据。
连载文章欢迎检查更多太阳能电池片科普系列:发电原理篇流程(电池片)篇工艺流程(硅片)篇制绒篇分散篇刻蚀篇(镀膜)PECVD篇丝网印刷篇烧结篇组件封装篇多晶硅铸锭篇
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