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近来,我国武器配备集团公司成功研发出国内首套磁控溅射镀膜机,填补了该项目国内空白,完成了高精度溅射镀膜机的国产化,满意我国当时大批量、安稳镀制多种高品质精细光学薄膜的需求,为我国往后一段时期的镀膜机研发供给了方向。该机型由集团公司自主研发出产,具有彻底自主知识产权,其技能水平处于国内抢先,发明了国内镀膜机研发的4个第一次:第一次选用磁控溅射和电子蒸镀两套镀膜体系,将蒸镀技能与溅射技能在一台机器上完成成功掩盖,在国内初次具有了蒸镀和溅射两种功能为一体的两用机型,减少了设备的收购本钱和能源消耗;第一次在真空室的规划上选用双真空室,有利于进步工作效率、维护靶材和节能降耗;第一次运用了分子泵技能,使极限真空完成一次性合格;在操控部分第一次选用工控机操控,进步了设备的自动化程度,避免了人为因素形成的失误。
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2024-March-16
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