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原标题:Edwards爱德华GV80+1200 PCB板蚀刻真空泵等离子高真空蚀刻机真空设备运用介绍
深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商,为客户24小时供给技能支持及售后服务,针对各个职业工艺端规划供给合适的负压真空体系解决方案,为PCB板蚀刻、半导体真空设备、光伏真空设备、锂电池真空设备、实验室高真空设备、工厂高真空设备、校园高真空设备供给优化的真空解决方案。
Edwards爱德华GV80+1200 PCB板蚀刻真空泵等离子高真空蚀刻机真空设备运用介绍
PCB板在蚀刻工艺中大都是:制成一个大容器(依据PCB尺度和产值以及用处),构成真空,然后向真空容器中通入所选气体(依据所处理的PCB资料性质来确认)。
坚持必定真空度,由射频电源或中频电源向向真空容器内的正、负电极间施加高频高压电场,气体在电场下的南北极之间电离构成电子、离子、自由基、游离基团和紫外线辐射粒子等组成的高能量和高活性的等离子体。
这些等离子体对各式各样的有机资料组成的极板都能进行反响,如聚酰亚胺(PI)、环氧、BT、氰酸酯、聚丙烯,乃至聚四氟乙烯(Toflon)等树脂都可以选用这种技能。若选用含氟化物(如CF4)气体,则可对含Si或SiO2进行处理(蚀刻)。
现在,关于各种多层板除钻污时,大都选用O2和CF4,而关于不含Si或SiO2的纯树脂类来说,如涂树脂铜箔等,则选用O2和H2或部分N2等气体。
等离子必定是在高真空度的条件下构成的,需依据蚀刻机的巨细所选配真空设备。
GV系列干泵包含GV80和GV110,规划用于处理很多可冷凝蒸汽和微粒负载,使您可以以最少的服务干涉和较低的整体运用本钱,取得安稳的真空功能。
GV系列包含 GV80、GV110 和 Drystar® GV80 预装备套装。为苛刻的工业运用而规划,具有安稳且可重复的功能。因为可以在高压水平下接连运转,这使其成为颇具本钱效益的干式线真空泵可以接连运转,并可以处理很多可冷凝蒸汽。凭仗清洁、安静的真空抽送才能和较少的服务中止时刻,GV80 可供给安稳的输出和可重复的真空功能。
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2024-March-16
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