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真空机组是将真空泵与相应的真空元件按其功能要求组合起来构成的抽气设备。真空抽气机组可分为低真空抽气机组、中真空抽气机组、高真空抽气机组、超高真空抽气机组、无油真空抽气机组等。真空机组的称号以主泵命名。低真空抽气机组的首要特点是作业压力高、排气量大,但抽速比高真空抽气机组低,多用于真空室的粗抽以及放气量很大、作业压力高的真空运送、真空浸渍、真空过滤、真空枯燥、真空脱气(钢水处理)等设备中。低真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵、油封式机械泵、干式机械泵、水喷射泵、水蒸气喷射泵、水环泵等直排大气真空泵,运用低真空抽气机组,还需求依据被抽气体的清洁程度、湿度或其他特殊要求,装备必要的除尘器、水气别离器、油水别离器、枯燥阱等部件。油封机械泵不适于抽除含有很多水蒸气的气体。水蒸气在紧缩进程中会凝结成水滴,并与泵油混合构成悬浮液,损坏泵的抽气功能使泵的真空度下降。一般采纳的办法有:运用带有气镇设备的油封机械泵,并将泵的作业温度控制在75~90℃之间,以削减气镇阀担负:在机组中设备水汽别离器或油水别离设备,处理混有水的机械泵油,处理过的油再进入泵中运用;用各种枯燥吸附剂或许油捕滤芯做成捕集阱吸收水蒸气;运用各种冷凝器或冷阱,不只能有效地吸附水蒸气,一起还能够阻挠机械泵向线为油封机械泵低线为油封机械泵加挡油阱的低真空抽气组,适用于化学气相堆积设备、真空包装、医药工业范畴。
中真空抽气机组常用的主泵有油增压泵、罗茨泵(机械增压泵)等,适用于需求大抽速和取得中真空的各种真空体系中,可广泛用于镀膜机、真空锻炼、真空热处理、化工、医药、电工、焊接等职业。
图12—6所示为以罗茨泵为主泵,油封机械泵为前级泵的中真空抽气机组。整套机组可安顿在一个机架上,结构紧凑,运用方便。
作为主泵的罗茨真空泵,可选择 Z 型一般罗茨泵,也可选用带旁通阀罗茨泵。前者须在体系被前级泵抽到罗茨泵答应发动压力时大能发动主泵作业;后者因为带旁通阀,罗茨泵在较高进口压力时作业不发生过载和过热,因而主泵能够在前级泵作业后,依据体系的实践 状况来决议它的发动压力。关于小型机组,还能够两泵一起发动,以 加大抽速和缩短抽气时刻。
图12—7所示为罗茨泵—水环泵机组,它合适抽除含有很多水蒸气的气体,如真空浓缩、真空枯燥,特别适宜于弱酸气体及含有少数纤细粉尘气体的抽除。关于粉尘或水蒸气量较少的作业环境,水环泵能够直接经过罗茨泵泵腔对体系进行粗抽(见图1—10a);假如被抽容器中(或真空工艺进行中)的粉尘(水蒸气)量较大,则需求另设旁通粗抽管道(见图1—10b)。
为了进步真空机组的抽气功能,到达较低的极限压力和改进低进口压力时的抽速特性,对大型真空机组配用较小标准的前级泵,能够组成由两个罗茨泵串联作为主泵的三级抽气机组,如图12—8和图12-9所示。双级罗茨泵加油封机械泵机组能够取得比双级罗茨泵加水环泵机组更低的极限压力,可是后者更合适在粉尘或水蒸气量较大的环境下抽气。
高真空抽气机组作业在分子流状态下,与低真空抽气机组比较,其特点是作业压力较低(10—1Pa~10— 5Pa )、排气量小、抽速大。机组的主泵一般为分散泵、分散增压泵、分子泵、钛提高泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气作业,因而需求装备粗抽泵和前级泵。有些高真空抽气机组的分散泵还配有前级保持泵或贮气罐,以避免气体压力动摇,改进机组的抽气功能。
超高线Pa的超高真空压力范围内,除了要求真空室的资料出气率很低、漏气率很小、能饱尝200~450℃高温烘烤外,对机组的要求还有:
(6)机组主泵进气口以上的管道、阀门等部件,对资料的选格和密封要特别稳重。一般选用出气率较低的不锈钢和金属密封资料以耐高温烘烤。
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2024-March-16
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