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(1)、真空取得设备--发生、改进或保持真空的设备。包含各种取得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。C、气体捕集真空泵:钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸附泵和锆铝吸气泵等。(2)、真空使用设备~在真空环境下(低于一个大气压的气体状况),使用的各种设备。A、真空镀膜机:蒸腾镀膜机、磁控溅射镀膜机、离子镀膜机和等离子化学堆积设备等。C、真空热处理炉:淬火炉、回火炉、退火炉、渗碳炉、渗氮炉和渗金属炉等。D、其它真空设备:冷冻干燥设备、蒸馏设备、提纯设备、浸渍设备、果蔬保鲜设备、运输设备、空间模仿设备、包装机和钢水脱气设备等。(4)、真空检漏仪一检测真空体系或元件漏孔的方位或漏率的仪器。包含高频火花检漏仪、卤素检漏仪和氦质谱检漏仪等。(5)、真空阀门一在真空体系中,用于调理流量、堵截或接通管路的元件。包含插板阀、挡板阀、蝶阀、电磁阀、电磁带放气阀、压差阀、球阀、隔膜阀和调理阀等
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2024-March-16
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