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的检漏办法和可运用检测仪器的品种繁复,依据所运用仪器类型可分为卤素检漏仪法、氦质谱检漏仪法及其它类型检漏法。又可依据被检漏的真空室地点的状况不同而分为压力检漏法和真空检漏法。振华真空在本文首要剖析后一种分类办法,罗列出详细的检漏办法类型及其相应的最小可检漏率。
将必定压力的示漏物质充入到被检真空室中,若真空室上有漏孔存在,那么示漏物质会自漏孔漏出来,用必定的仪器或办法在真空室外检测出自漏孔中走漏出来的示漏物质,从而对漏孔的存在、详细的方位及漏率巨细进行断定。如今归于压力检漏法的真空体系检漏办法有:
5、气泡法。气泡法又分为水泡法和皂泡法,水泡法通常情况下的最小可检漏率为10~10PaLs,而经24小时累积的可达10~10PaLs;皂泡法的最小可检漏率为6.7×10PaLs;
6、卤素检漏仪吸嘴法。卤素检漏仪吸嘴法的最小可检漏率为10~10PaLs;
7、氨检漏法。氨检漏法因工作条件(充入气体)的不同而有不同的最小可检漏率;
8、放射性同位素气体法。放射性同位素气体法的最小可检漏率为1.3×10PaLs;
9、氦质谱检漏仪吸嘴法。氦质谱检漏仪吸嘴法的最小可检漏率为10~10PaLs。
因为被查看的真空室和检漏设备的灵敏元件都是处在真空环境下,在被检真空室外面施加了示漏物质,若被检真空室存在漏孔,则示漏物质会经过漏孔进入真空室和检漏设备的灵敏元件地点的区域内,然后灵敏元件会将示漏物质检测出来,从而对漏孔的存在、详细方位及其巨细进行断定。归于真空检漏法的真空体系检漏办法有:
1、真空规检漏法,真空规检漏法中用于真空检漏的设备有热偶或电阻真空规、电离真空规、热传导真空规差动组合、电离真空规差动组合、热传导规、液氮冷却活性炭阱、冷阴极电离规、液氮冷硅胶阱等。其间最小可检漏率低至10PaLs,高至10PaLs;
7、卤素检漏仪内探头法的最小可检漏率为的最小可检漏率为10~4×10PaLs;
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2024-March-16
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